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不锈钢表面术语介绍

所谓APBAMPEP都是不锈钢管道的抛光/加工方式,对于半导体业需要的气体来讲,紧紧说明这些方式是不够的,加工完毕之后的洁净处理更加重要。

AP管(退火+酸洗),需要达到的基本要求是无油,内表面较为平整,由于此管道所有系统要求低,多数客户不予更多要求。(但要注意必须要退火)

BA管(光亮退火),这种管道由于其特殊的退火炉,使得管道表面平整光亮,如果Ra值符合规范,则无须再次抛光,厂商需要做的就是洁净清洗工序,以达到客户需要的等级要求。(当然工厂有其自身标准,但也有不少所谓贴牌厂或中间商,为扩大差价,在洁净清洗工序上做手脚。)

MP(机械抛光),一般意义上,不少人总认为MP管不如BA管,其实不然。机械抛光在AP管道的基础上进行机械抛光,使得内表面更加平整,确保Ra值符合规范,同时抛光完毕之后需要进行pickle处理,提高经机械抛光后的表面耐腐蚀性。与BA管的后续工序一样,MP需要根据其使用系统进行洁净清洗,以达到客户需要的等级要求。所以,MP的最终质量完全可以等于或高于BA的最终质量。关键还是制造厂商的产品spec

EP(电解抛光),优质的电抛光管应在BAMP基础上完成,但目前市场上存在部分厂商或代理商为扩大差价,恶性竞争,以AP为基础进行电抛光,尽管也是电抛光,但抛光出来后的产品内表面相差很大。甚至有些省却本该有的超纯水清洗或吹扫程序,会直接导致管道内面的PARTICLEMOISTURE不符合要求。

所以,厂商定义管道的选用标准,应该首先明确自己需要哪些级别的管道(粗糙度,水分,颗粒度等等关键数据),而非一个BA/MP/EP的名词简单描述。可能我们有自己的行业习惯,但正是这个模糊的习惯让某些人钻了空子,付出了银子未必得到最佳的产品。